Laboratoire de Physique des Interfaces et Couches Minces

Croissance à basse température

• Le filament de tungstène peut augmenter la décomposition du gaz précurseur indépendamment de la température de substrat
  
• Le rendement et la qualité peuvent être augmentés par la chimie de croissance améliorée (l'oxydation douce avec des molécules d'eau).
  

Croissance sélective

• La fonctionnalisatoin et le prétraitement de la surface peuvent fournir un dépôt sélectif des catalyseurs ou une améggloration de catalyseurs
• Le contrôle de taille de catalyseurs peut être exécuté par l'utilisation de nanoparticles calibré (des ions de fer à l'intérieur ferritin, des colloïdes) ou par l'implantation d'ions