Présentation
Activités de recherche principales :
- Couches Minces de Silicium et Nano-Matériaux
- Applications en Electronique
- Nanotubes de Carbone et Applications
- Instrumentation Polarimétrique et Applications
Généralités
Personnel : 56 personnes dont 26 permanents, 8 enseignants à l'Ecole Polytechnique, 15 Post-Doctorants and 3 Etudiants Master.
- Surface du laboratoire (sur le campus de l'Ecole Polytechnique) : environ 1000 m2
- Budget : environ2 M€ par an (dont les salariés ainsi que 0,5 M pour les contrats industriels)
Connaissances
- Synthèse de couches Minces Semi-Conducteurs, amorphes, Polymorphes, Silicium Polycristallin
- Simulation Dynamique Moléculaires de Couches Minces de Silicium
- Couches Minces et Transistors pour les Applications Electronique
- Couches Minces de Carbone et synthèse de Nanotubes
- Développement d'ellipsomètres et de polarimètres spectroscopiques
- Applications de la Polarimétrie
Méthodes et Facilités
- PECVD basée sur des décharges radiofréquences
- PECVD utilisant Distributed Electron Cyclotron Resonance
- Hot Wire CVD
- Analyse ellipsométrique in situ de PECVD
- Spectro Ellipsométrie dans les domaines proche UV-Infrarouge
- Time Resolved Microwave Conductivity
- Instrumentation
Applications
- Processus de fabrication de Cellules Solaires
- Applications en Electronique (AMLCD, OLED)
- Photodétection
- Dépot sur couches minces
- Instrumentation en Optique
- Métrologie Optique en Microélectronique
- Application Biomédicale en Polarimétrie